热搜话题榜单

三星已经部署极紫外光刻技术生产存储芯片

3月26日据oltnews援引日经新闻报道，三星电子本周三宣布，已经在首尔华盛市的一家DRAM工厂的一条生产线上部署了极紫外光刻技术(EUV)，将精密内存芯片制造的生产率提高一倍。三星是第一个将这项技术用于大规模生产存储芯片的公司，这是 20 年来生产技术的首次重新设计。三星的竞争对手SK海力士计划2021年在DRAM生产线上安装EUV设备。

3 亿美元能造1.8nm！Intel收到全球第一台高NA EUV极紫外光刻机

Intel官方宣布，位于俄勒冈州的晶圆厂已经收到ASML发货的全球第一台高NAEUV极紫外光刻机，型号为TwinscanEXE:5000”，它将帮助Intel继续推进摩尔定律。Intel早在2018年就向ASML订购了这种新一代光刻机，将用于计划今年量产的Intel18A制造工艺，也就是1.8nm级别。新光刻机的价格估计至少3亿美元，甚至可能达到或超过4亿美元，也就是逼近人民币30亿元现有低NAEUV光刻机需要2亿美元左右。

单价翻番到26亿！ASML：所有EUV客户均订购了下一代高NA极紫外光刻机

ASML（荷兰阿斯麦）正抓紧研制其下一代高NA（0.55数值孔径）的EUV极紫外光刻机，在发布最新财报期间，AMSL透露，其存量EUV客户均订购了新一代设备...韩国设备商透露，现款EUV光刻机的订货价是2000~3000亿韩元（约合10~16亿元人民币），而高NAEUV光刻机的报价翻番到了5000亿韩元（约合26亿元）...在三季度财报中，ASML完成58亿欧元的净销售额，毛利率51.8%、净利润17亿欧元，公司预计四季度净销售额在61~66亿欧元之间......

美光科技计划2024年开始安装极紫外光刻机

【TechWeb】10月22日消息，据国外媒体报道，已顺利量产7nm、5nm芯片制程工艺的台积电和三星电子，已采购了大量的极紫外光刻机，用于为相关的厂商代工芯片。而除了台积电、三星电子等芯片代工商，存储芯片制造商也已采购或计划采购极紫外光刻机。年初就曾有外媒报道，SK海力士新建成的M16工厂，就已安装了极紫外光刻机。英文媒体的报道显示，美光科技也已计划采购极紫外光刻机。美光科技计划采购极紫外光刻机，是美光科技负责全球运

9.38亿元！ASML第一台全新EUV极紫外光刻机交付

作为全球第一光刻机供应商，荷兰ASML(阿斯麦)今天公布了2021年第二季度财报。当季，ASML净销售额40亿欧元，毛利率50.9％，净收入10亿欧元，净预订额83亿欧元，其中EUV极紫外光刻机就有49亿欧元，而总的积压订单金额已达175亿欧元。ASML在财报中还披露，第一台全新TWINSCAN NXE:3600D EUV光刻机系统已经交付给客户，相比之前的NXE:3400C生产力提高了15-20％，覆盖率（套刻精度）提高了约30％。不过，ASML未透露接收客户是哪一家。AS

外媒：阿斯麦已生产的极紫外光刻机 70%卖给了台积电

【TechWeb】5月19日消息，据国外媒体报道，本周一，外媒援引韩国产业通商资源部一份有关半导体产业发展战略文件报道称，光刻机制造商阿斯麦将投资2.12亿美元，在京畿道华城建设极紫外光刻机再制造厂和培训中心。在报道阿斯麦将在华城建设极紫外光刻机再制造厂和培训中心时，外媒还提到，虽然三星电子、SK海力士已引进了阿斯麦生产的极紫外光刻机，但他们获得的数量同台积电相比，有不小的差距。外媒在报道中提到，阿斯麦目前已生产

台积电预计极紫外光刻机累计采购量在明年将超过50台

9月28日消息，据国外媒体报道，在8月份的全球技术论坛期间，台积电曾透露全球目前在运行的极紫外光刻机中，他们约有一半，产能则是预计占全球的60%。台积电是从第二代的7nm工艺开始采用极紫外光刻机的，7nm之后的工艺，就将全部极紫外光刻机，随着5nm工艺的大规模投产，他们对极紫外光刻机的需求也越来越大。而消息人士透露，台积电正在加快研发极紫外光刻机工艺，他们预计到明年年底，极紫外光刻机的累计采购量将达到

台积电预计 6 月将英伟达 AI 加速计算光刻技术导入 2 纳米试产

在日前举行的英伟达+GPU+技术大会上，英伟达公布了其在计算光刻技术方面的突破。新的+Nvidia+cuLitho+软件库将加速计算引入了计算光刻领域，使半导体公司能够在这一领域取得突破。从长远来看，cuLitho+将实现更好的设计规则、更高的密度、更高的产量和+AI+驱动的光刻技术。

华为公布有关EUV光刻技术的新专利

在集成电路制造中，光刻覆盖了微纳图形的转移、加工和形成环节，决定着集成电路晶圆上电路的特征尺寸和芯片内晶体管的数量，是集成电路制造的关键技术之一。随着半导体工艺向7nm及以下节点的推进，极紫外光刻成为首选的光刻技术。该专利申请提供一种反射镜、光刻装置及其控制方法，涉及光学领域，能够解决相干光因形成固定的干涉图样无法匀光的问题，在极紫外光的光刻装置基础上进行了优化，进达到匀光的目的，进解决了相关技术中因相干光形成固定的干涉图样无法匀光的问题。

中科院：计算光刻技术取得重大进展

中国科学院官网刊文称，上海光机所在计算光刻技术研究方面取得重要进展。近日，中科院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室提出一种基于虚拟边（Virtual Edge）与双采样率像素化掩模图形（Mask pixelation with two-phase sampling）的快速光学邻近效应修正技术（Optical proximity correction, OPC）。仿真结果表明，该技术具有较高的修正效率。光刻是极大规模集成电路制造的关键技术之一，光刻分辨率决定集成电路的特

三星宣布7nm LPP量产！基于EUV光刻技术、性能增加20%

10月18日早间消息，三星官方宣布，已经开始进行7nm LPP（Low Power Plus）工艺芯片的量产工作。

防伪技术取得新突破！飞秒激光刻出证卡专属“指纹”

快科技11月20日消息，据报道，西安电子科技大学杭州研究院石理平教授团队与企业合作，提出了一种基于飞秒激光诱导的物理不可克隆（PUF）纳米纹理，并将其应用于高安全等级身份证卡防伪。当前，伪造身份证、护照等高价值身份识别证件已成为个人信息安全乃至国家安全领域的重大威胁。为应对这一严峻挑战，传统防伪技术虽已构建起复杂的制证工艺体系，旨在通过提高仿造的技术难度和成本来构筑防线。然而，这一传统方法存在一个根本性缺陷：证件本身缺乏独一无二的物理防伪标识，未能实现证卡载体”与识别个人”之间的唯一性绑定防伪元素。一?

新型紫外光让室内空气跟室外一样安全：可对抗COVID

哥伦比亚大学瓦格拉斯医学院和英国的科学家们的一项联合研究发现，一种对人体安全的新型紫外线灯只需不到5分钟的时间就能把室内空气中的微生物水平降低了98%以上。即使微生物继续被喷入房间，只要灯还亮着，其水平就保持得很低。资料图
该研究表明，安装在天花板上的灯发出的远紫外线可能是一种非常有效的被动技术，其可以减少空气媒介疾病如COVID和流感在室内的人际传播并降低下一次大流行的风险。
“远紫外线能迅速将室内空气中的活性微生物数量减少到几乎为零，并使室内空气基本上与室外空气一样安全，”哥伦比亚大学瓦格洛?

LG公布新款新空气净化器 将HEPA和UV紫外光杀菌混合

2022年国际消费电子展可能还有两周时间，但鉴于目前对空气质量的关注，LG的新PuriCare AeroTower空气净化系统提前到来有很大的意义。这款引人注目的、雕塑般外形的组合，将风扇、净化器和加热器，HEPA过滤和紫外线（UV）灭菌混合在一起。HEPA过滤器首先捕获99.97%的空气中微粒，大小为0.3微米。一旦它们被捕获，LG称之为UVnano的紫外光系统依靠紫外线来杀死可能存在的任何细菌。LG声称，99.99%的细菌可以在UVnano照射30分钟内被杀?

ASML拒绝新一代EUV光刻机跳票：找到日本巨头技术驰援

日前传出ASML新一代光刻机EXE:5000跳票到2025年之后的消息，但似乎荷兰人已经找到帮手帮自己提速。日本最大半导体成膜、蚀刻设备公司东京电子（东京威力科创，Tokyo Electron）宣布，将在镀膜/显影技术上与ASML合作，以联合推进其下一代NA EUV光刻机的研制，确保2023年投入运行。据悉，参与该EUV光刻机研发的还有IMEC，即位于比利时的欧洲微电子中心。东京电子表示，自旋金属抗蚀剂已显示出高分辨率和高蚀刻电阻，并有望使图案更加

英唐智控：收购日本芯片半导体光刻机先锋微技术已获日本政府批准

8月24日消息，英唐智控公在互动平台表示，先锋微技术自有的生产设备中包含有日本产的光刻机设备，其收购事项已经获得日本政府批准。先锋微技术光刻机主要用于模拟芯片的制造，在满足其自身生产研发需要的前提下，不排除向具备条件的其他客户提供产能支持，但公司目前尚未启动该类型的合作。另一方面，投资者问询该光刻机项目是否会与华为合作，英唐智控回应道：先锋微技术光刻机主要用于模拟芯片的制造，在满足其自身?

台媒：台积电增购2台极紫外光设备 加快投入2纳米研发

台积电宣告3纳米制程预计明年上半年试产、2022年下半年量产后，也加速2纳米研发脚步，近期增购二台极紫外光（EUV）机台，以投入2纳米研发。台积电台媒称，这使得台积电今年资本支出几乎不会向下修正，预计仍会上看160亿美元。台积电是目前最积极导入极紫外光微影设备提供代工量产服务的晶圆厂，也因台积电在鳍式场效电晶体（FinFET）技术工艺精进，台积电在5纳米全数导入极紫外光微影设备

鸿蒙生态的“中国速度”：技术破局与生态共创的胜利

当华为常务董事、终端 BG 董事长余承东在2025年华为开发者大会（HDC2025）上宣布 HarmonyOS6开发者 Beta 正式启动时，台下热烈的掌声回应着鸿蒙生态的又一次进化。令人惊喜的是，就在一周前，华为 Pura80系列才刚刚向用户展示了 HarmonyOS5.1的新特性，HarmonyOS6开发者 Beta 便已接踵而至。这种惊人的迭代速度，正是鸿蒙生态爆发式生长与强大生命力的直观体现。 “重构一个操作系统�

8大全球之最 1项中国首发！极氪9X定档7月9日技术发布

极氪官方今日宣布，极氪将于7月9日晚7点举行9X技术发布会。 据了解，极氪9X是极氪全新旗舰SUV，于今年上海车展首发，车长超5米2，车宽超2米，车高超1米8，轴距接近3米2，定位全尺寸SUV。 车辆配备了全球SUV最大的一体式格栅，搭配浩瀚星钻矩阵灯组，打造了42242个钻石切割型面，车头还有2.15平方米全球SUV最大的蚌式机舱盖，极具豪车气场。 车身侧面造型沉稳大气，配合双

AIBASE.CN:解码智能时代的技术枢纽，引领AI生态全维度进化

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