阿斯麦柏林工厂火灾波及EUV光刻机一部件生产区域 尚未恢复
阿斯麦在官网上表示,上周一的火灾,发生在柏林工厂的一栋建筑中,火灾中的烟雾,部分影响到了相邻的建筑,受影响建筑的部分生产已能恢复,其他未受影响的建筑,已全面运营...火灾影响的损坏评估仍在进行中,但阿斯麦方面表示,从目前的情况来看,他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响,因为没有相关的部件在柏林工厂生产...虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产,但阿斯麦位于柏林的工厂,生产DUV和EUV光刻机的部分部件,这两类光刻机部分部件的生产,在火灾中都受到了影响...柏林工厂受火灾影响仍未恢复的,是EUV光刻机一个零部件的生产区域,恢复计划仍在进行中,他们已决定采取相关的措施,将对EUV光刻机客户、产出计划及服务的潜在影响降到最低...